奥普光电:理论上讲超精尺可以应用于DUV或者EUV光刻机


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每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:请问老师,从理论上讲,光栅尺是否可以用于DUV光刻机呢?高精尺和超精尺理论上讲是否可以EUV光刻机呢?

奥普光电(002338.SZ)7月31日在投资者互动平台表示,理论上讲,超精尺可以应用于DUV或者EUV光刻机。

(文章来源:每日经济新闻)

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